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在激光技术发展的过程中,随着调Q激光器的出现,激光诱导光学薄膜的损伤就为人们所察觉;七十年代初,随着高功率激光器的出现,人们进一步发现,光学薄膜本身的抗激光损伤能力已成为限制其发展的重要因素之一。因为在实验上发现光学薄膜抗激光损伤的能力往往要低于其纯净的块状材料2~4倍。
激光诱导光学薄膜损伤的机理研究属于激光与物质相互作用的范畴。从经典的概念出发,高功率激光与光学介质相互作用的物理过程主要可归纳为:介质吸收入射激光能量的热效应和入射激光诱导的场效应,现在一般的理论认为连续激光以及脉宽在微秒量级的脉冲,激光诱导光学薄膜损伤的物理机制主要是热效应,在这种情况下,光学介质吸收入射激光能量,使膜层温度升高以至熔融断裂,导致光学介质的永久性破坏。
成都奥林光学薄膜公司多年来一直致力于激光光学薄膜的研究,在超光滑基底加工,清洗及镀膜工艺上积累了丰富的经验,形成了完善的工艺路线。以1064nm波长为标准,对直径为200mm以下尺寸的元件,入射激光为基频的1ns的无调制高斯激光,损伤阈值可以达到20J/cm2. |