Optical Coatings
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典型的薄膜生产工艺过程
(宽带增透BBAR膜)

1.准备镀制元件装夹系统
2.清洁元件
3.清洁真空室,安放镀膜材料,准备镀膜监控系统
4.安放元件于真空室
5.启动设备,把真空抽至需要的真空度(<2 X 10-5
Torr.加热至200-300度
6.根据每层的设计镀膜
7.恢复真空,冷却
8.取出元件进行测量
9.检验和包装

光学薄膜基本理论 (Optical Coating Theory)
   
光学薄膜应用于各种反射和投射光学元件,常用的典型光学薄膜的例子有: 减少光在元件表面反射的增透膜;使光在给定波长范围内透过的滤光片窗口;在反射镜中使用的高反射膜等。
   如果入射光有角度,光通过元件时将产生偏振,光学薄膜可以针对入射角度、S偏振光、P偏振光和随机偏振光进行设计。如果光学薄膜按照0度入射光进行设计,
就不能在45度表现出我们预期的光学性能。
   光学薄膜的镀制是通过在元件表面沉积介质和金属材料如SiO2,TiO2, 或铝,典型的薄膜其每一层的厚度相当于1/4所使用的波长,高折射率的材料和低折射率的材料交替沉积,产生所需要的干涉效果。

 




nf 光学薄膜的折射系数
n0 空气的折射系数
ns 基片的折射系数

 

光学薄膜技术:
IBS:
离子束溅射,由离子源产生带能量的离子,溅射到基片表面。
PVD: 物理蒸发沉积,通过电子枪作用于镀膜材料上, 产生电子束,均匀沉积于镀膜元件上。

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Tell:  0086-28-85195985
Fax: 0086-29-85195945
ericliu@
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成都奥林光学薄膜公司提供以下光学薄膜及相关产品:

 
编 码 产品类别 编 码 产品类别
C-OCLI001 增透膜AR Coatings C-OCLI005 偏振膜Polarizing Coatings
C-OCLI002 分光膜Beamsplitters C-OCLI006 滤光片Filters
C-OCLI003 高反膜Reflective Coatings C-OCLI007 金属反射镜Metallic Mirrors
C-OCLI004 高阈值激光膜High Laser Damage Threshold C-OCLI008 客户特殊要求薄膜

u相关名词:
石英晶体膜厚控制(Crystal Thickness Control):
石英晶体的重量的微小变化将会导致其振荡频率的变化,因此,在镀膜过程中,我们把石英具体探测头置于真空室内,通过石英晶体的频率变化来控制镀膜的厚度。
介质(Dielectric):  从紫外、可见到近红外波长都有较高的透过率(很小吸收)的材料称为介质材料。

光学监控(Optical Monitoring): 在镀膜过程中,直接测量置于真空室内的比较片的反射或透射的设备。在一些情况下,光控有比较高的测量精度。
光学薄膜(Thin Film): 任何在光线透过或反射时产生增加或减少干涉效果的薄膜。

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