典型的薄膜生产工艺过程 (宽带增透BBAR膜) 1.准备镀制元件装夹系统 2.清洁元件 3.清洁真空室,安放镀膜材料,准备镀膜监控系统 4.安放元件于真空室 5.启动设备,把真空抽至需要的真空度(<2 X 10-5 Torr.加热至200-300度 6.根据每层的设计镀膜 7.恢复真空,冷却 8.取出元件进行测量 9.检验和包装
光学薄膜基本理论 (Optical Coating Theory) 光学薄膜应用于各种反射和投射光学元件,常用的典型光学薄膜的例子有: 减少光在元件表面反射的增透膜;使光在给定波长范围内透过的滤光片窗口;在反射镜中使用的高反射膜等。 如果入射光有角度,光通过元件时将产生偏振,光学薄膜可以针对入射角度、S偏振光、P偏振光和随机偏振光进行设计。如果光学薄膜按照0度入射光进行设计, 就不能在45度表现出我们预期的光学性能。 光学薄膜的镀制是通过在元件表面沉积介质和金属材料如SiO2,TiO2, 或铝,典型的薄膜其每一层的厚度相当于1/4所使用的波长,高折射率的材料和低折射率的材料交替沉积,产生所需要的干涉效果。
nf 光学薄膜的折射系数 n0 空气的折射系数 ns 基片的折射系数
光学薄膜技术: IBS: 离子束溅射,由离子源产生带能量的离子,溅射到基片表面。 PVD: 物理蒸发沉积,通过电子枪作用于镀膜材料上, 产生电子束,均匀沉积于镀膜元件上。
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u相关名词: 石英晶体膜厚控制(Crystal Thickness Control): 石英晶体的重量的微小变化将会导致其振荡频率的变化,因此,在镀膜过程中,我们把石英具体探测头置于真空室内,通过石英晶体的频率变化来控制镀膜的厚度。 介质(Dielectric): 从紫外、可见到近红外波长都有较高的透过率(很小吸收)的材料称为介质材料。 光学监控(Optical Monitoring): 在镀膜过程中,直接测量置于真空室内的比较片的反射或透射的设备。在一些情况下,光控有比较高的测量精度。 光学薄膜(Thin Film): 任何在光线透过或反射时产生增加或减少干涉效果的薄膜。
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